请教硅片扩散过程中出现的异常情况

huafei920

硅片在扩散前沾有水滴，扩散出来后在原来沾有水滴的四周出现色斑，在显微镜下观察，该区域好像被什么东西覆盖着，同时好像又被腐蚀过，不知这层东西什么物质，又是什么原因？

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高温下产生的水迹，可以看看有机溶剂能否擦去，不过一般很难。硅片加工前一定要用甩干机甩干。