那位高手知道如何清洗石英晶片?

xueyan

抛光好的晶片上残留着很多氧化铈，很难清洗干净，不知那位高手可以告诉一下。

xiaoyu

用超声波加清洗剂清洗

ilycjf

我能帮你解决，有兴许交流一下！0572-7870080/ilycjf@21cn.com

laijf

如果，把侧面的过一下细砂应该回好一些。

jody

清洗剂 纯水 50-60度多次清洗

超音波

xtal

法一(洗淨前晶片要是乾淨的, 最好etching後立即洗淨)

1. 清潔劑(洗碗精) 沖水

2. 鹼 沖水

3. 酸(HCl) 沖水--沖熱水

4.IPA脫水

法二

1. HCl+H2O4 沖水

2. 鹼(白色粉泡水) 沖水

3. HCl+H2O4 沖水--沖熱水

4. 微波

5. IPA 脫水

xtal

酸鹼洗淨流程圖

酸洗淨(6分鐘) 硫酸硝酸混酸(1:1)的更換,每週2次

↓ ----------------------溫純水煮沸(6分鐘)

鹼洗淨(6分鐘) C-709C 鹼液交換1星期2次

↓ ----------------------溫純水煮沸(6分鐘)

酸洗淨(6分鐘)

↓ ----------------------溫純水煮沸(6分鐘)

溫純水煮沸(10分鐘)

↓

溫純水超音波(10分鐘)

↓

溫純水沖洗

↓

IPA超音波(2分鐘)

↓

IPA超音波(2分鐘)

↓

乾燥

No	材 料 部 品
1	晶片
2	硫酸(EL)
3	硝酸(EL)
4	C-709C
5	IPA