楼主: sofilm

镀膜雾状原因分析。。。

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发表于 2005-10-25 19:50:00 | 显示全部楼层

是固定位置的基片才会起雾吗?

发表于 2005-11-15 19:47:00 | 显示全部楼层

可能是氧气进入量太多或太少吧

发表于 2005-11-26 19:11:00 | 显示全部楼层

有可能是基片本身问题

1表面腐蚀不均,

2污染

发表于 2005-12-13 02:45:00 | 显示全部楼层
使用铝箔纸是一个好方法,铝箔可以吸收一部分膜料.
发表于 2005-12-14 18:34:00 | 显示全部楼层

玻璃材料是否不稳定?

发表于 2005-12-15 03:37:00 | 显示全部楼层
有没有可能是由于清洗后基片表面没有完全干好?
发表于 2005-12-15 22:08:00 | 显示全部楼层

我遇到过的情况:

离子源太厉害了,从镀膜伞上的镙丝孔中绕射。

发表于 2005-12-17 01:26:00 | 显示全部楼层

各位大哥,若有进一步解决办法,请再说说吧!

小弟也有这样的问题!

发表于 2005-12-17 05:19:00 | 显示全部楼层

如果盖上铝泊还不行的话,那就得考虑是膜料或是离子源的问题了

不过有人说是离子源能量太强会造成这样,也有人说是太弱才会发蒙的

你是用的莱宝的APS吗?

发表于 2006-3-12 04:47:00 | 显示全部楼层

我们也遇到了同样的问题,但好象是在镀膜面产生的雾状物质.

从清洗到机器,到膜料看了个遍,

也没有找到问题所在,

请问,镀膜镜片的湿度影响大吗?

发表于 2006-3-16 20:30:00 | 显示全部楼层

清洗之后到装进真空室去镀膜大概有多长时间,时间长(2小时)有可能会造成这样的问题。

发表于 2006-3-16 21:21:00 | 显示全部楼层

要知道是什么原因,只有不停的试验了,很繁琐。

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