镀膜雾状原因分析。。。

lunik · 发表于 2006-3-17 20:41:00

应该和夹具有关系，也可以尝试用铝箔纸覆盖，观察一下

楼阁情丝雨 · 发表于 2006-3-17 21:18:00

增加氧气流量可解决你的问题

lianqian2000 · 发表于 2006-3-21 05:04:00

[B]以下是引用[I]huweiqian[/I]在2006-3-16 12:30:00的发言：[/B][BR]
清洗之后到装进真空室去镀膜大概有多长时间，时间长（２小时）有可能会造成这样的问题。

膜层够厚的话，时间长是难免的除非调快速率那出来的问题就更大了，这么说几十层膜不就没法镀了郁闷

paganini · 发表于 2006-3-26 00:10:00

以上各位说的都有可能,只要结合具体情况去分析验证就是了.

xiaohe · 发表于 2006-3-28 17:52:00

真空室加配深冷捕集设备或许可以改善。

xcy1075 · 发表于 2006-3-31 18:49:00

为什么不说说真空室水气太重了?

fawang · 发表于 2006-4-1 05:16:00

有没有考虑机台清洁的方面,是否机台上面clean得不好

超越 · 发表于 2006-4-2 18:49:00

该跟充氧有关吧

cswtct · 发表于 2006-4-10 23:44:00

感觉清洗造成的可能性大，你说那些部分可以擦掉。

niechunyang · 发表于 2007-8-30 21:34:23

这个要有经验的，镀多了就知道了

happy3635 · 发表于 2007-9-9 01:19:12

应该是散射造成的可以适当降低真空度上面加盖铝箔纸

速率调低些

XIANL · 发表于 2007-9-25 17:01:57

到底是什么原因造成的啊