在鍍鋁前先加鍍一層sio2(加溫),再鍍鋁和保護層.
要請我吃飯哦!
也许真空度测量有问题,显示的是假象,用复合真空计确定一下真空度
是不是本身基底的清洁度做好啊?
1,真空未必需要十分高。5E-3Pa以下即可。
2,镀20-50NM al2o3打底(用离子源辅助)。
3,镀AL时温度尽可能低,要小于80镀。镀AL时速度要快。
基板铝膜间 加镀键结材料
真空抽到4E-3Pa已要2-3小时?建议改造设备。一般要求20--30min镀完的。
抽真空这么慢是不是扩散泵或是真空计有问题?同意上面几位的说法,可能是铝与玻璃间的黏着力不好,应考虑先渡一层其他膜种
本版积分规则 发表回复 回帖并转播 回帖后跳转到最后一页