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我不知道你所用的膜系是规整膜系还是非规整膜系?
如果是规整膜系的话,因为监控波长是不变的,这时候我认为监控波长的设置没有多大的关系,可能镀出来的结果和你的要求有一个波长的偏移,下一次把波长重新调整一下就可以了,光学性能方面应该没有多大问题。
如果是非规整膜系的话,因为监控波长多数情况是变化的,这时候可能是比较麻烦的事,那就要把Tooling值给弄得越准确越好了!(没有这方面的经验,不对之处请批评指正!)
光控当然要好了,好的光控可以做到,怎么可能1%的误差呢,那肯定不行了,能做到万分之5到千分之一的误差
最好能实时监控了
要采用光控规整膜系﹐监控时要考虑监控波长宽度和阻噪能力﹐所以窄带滤光片最好采取单色仪加窄带滤光片方法监控。晶控(规整、非规整膜系)不好﹐其难消除误差累积且重复性比较难保证。
如果膜系为HLH(HLHLHLHLH)^2 HLH,那我控制起来该用几个光控位置呢?是一个?还是两个?或是多个?如何控制?
最好用单波长控制,因为这样的相对误差会更小一点.
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