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目前全世界只有美国Cree公司独家垄断从SiC单晶生长、晶片加工、外延片、芯片至SiC器件完整之量产技术,并已开发成功4英寸SiC单晶产品,2002年实现营收超过2亿美圆,占全球SiC市场90%以上。 近日,中科院物理所陈小龙研究员领导的科研小组在SiC晶体生长方面取得了重大进展。他们在自行研制的高温生长炉上,解决了物理气相传输法中生长SiC晶体的一些关键物理化学问题,成功地生长出了直径为2英寸的SiC晶体,其X-射线衍射摇摆曲线达到2弧分,微管密度已少于100个/平方厘米(10x10平方毫米样品),这些表征SiC晶体质量的重要参数指标超过了目前Cree公司的部分商品的指标,为SiC单晶的国产化奠定了基础。 从实验室到产业化还需要下苦功夫,愿楼主好运! |