氦检漏仪也用过了.就是找不到漏点

guoningaa · 发表于 2005-12-21 05:05:00

能抽到1.0X10-3Pa,根据压升测得漏率大约2PaL/s,氦检漏仪也用过了.就是找不到漏点,系统抽速大约2000L/s.
快快支找招,急死我了,如何才能找到漏点.

zzzz · 发表于 2005-12-22 19:31:00

检漏仪不不是万能的.

查查各转动件,换密封圈,查查是否有内漏

2614162 · 发表于 2005-12-23 18:48:00

也许不是漏气问题！你检查其他设备是否正常

jingxiaobao · 发表于 2005-12-24 05:40:00

看抽气系统有没有问题

特别是扩散泵

宇轩 · 发表于 2005-12-28 06:01:00

得看一下真空室里的水系统有没有漏水，像你那能抽到那么高的真空度，如果有漏水那也是微漏

所以在检查是可得很仔细咯，扩散泵效率是否正常也得查查哦