楼主: xyzxyaxyz

求助:钛与铜层的结合力

 火... [复制链接]
发表于 2009-7-8 11:23:40 | 显示全部楼层
楼上教得很好啊,多试几次就可以了。
发表于 2009-7-8 15:17:33 | 显示全部楼层
点状脱未必是CU和TI的结合问题
发表于 2009-11-20 00:30:24 | 显示全部楼层
楼主,成膜结合力问题解决了吗?问一下你们的钛层有多厚? 镀钛时的电流多少?成膜温度?
这些都可能影响钛与铜的结合力问题.我做过一些实验证明.
发表于 2011-5-6 21:24:20 | 显示全部楼层
回复 xyzxyaxyz 的帖子

在钛上再溅射银,厚度到4~5个微米结合力都很好?那镀银要镀多厚?
发表于 2011-5-11 23:47:58 | 显示全部楼层
换打底的材料吧
发表于 2011-5-12 07:52:39 | 显示全部楼层
工艺是否可以改改!
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