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请问正常情况下,晶控片能达到多少层膜?

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发表于 2006-5-9 00:18:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
请问:
     分别用INFICON和MAXTEK两种晶片镀SiO2膜,正常情况下,达到多少层比较合适?
     (我们现在用的INFICON的可以达到70层左右。)
      请高手指点一下?
发表于 2006-5-9 16:04:00 | 显示全部楼层
这个可能要看具体每层膜的厚度吧!
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