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医疗上用吧,但现在我们只在研究阶段。我这里有很多关于这方面的中英文的资料,你想详细了解,我可以提供。我们主要是通过光刻,通道大小在20um,我们要求更小,主要是我们现在找不到合适的掩膜。
我们公司对晶体的键合成立了专门的项目小组,你所说的玻璃键合,应该不是问题,lf0379@sina.com
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