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发表于 2003-6-19 07:44:00
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用过迈克尔逊干涉仪的朋友请指点
总算找到了点线索,是对“NC3000自动非接触干涉仪系统”的介绍:
http://www.lienhe.com.cn/product/explain-c-nc3000.htm
注意到文中的一段:
“在白光扫描法中,白光相干性低,提供仅带几根可见条纹的被测表面的干涉图形。用干涉物镜从上向下扫描工件,随高度不同,这几根条纹时隐时显地出现在工件表面。通过跟踪峰值或中心条纹,计算机能够标定每一点的高度值,甚至当高度有突然变化时,也可做到这一点。”
再从彩色干涉曲面的情况看,
红色在最顶部,紫色在最下面,由于某种颜色的“相干长度”很短,
所以工件表面只要有微小的凹凸变化,该处干涉环的颜色就会有微小的不同了,
通过计算机做出比色分析,就可以测出凹陷的深度了,
上文中也提到“条纹时隐时显地出现在工件表面”,
这说明各种频率的颜色的确有自己的“干涉可见间距”,
这就不用很多种激光源了,用这种方法可以很容易的测量出各频率的“清晰长度”?
从而找出一些规律来,
而且显然这个“清晰长度”必须是很有规律的,只能与颜色(频率)相关,
而不应受光源的“相干长度”的影响,否则会影响“比色法”的测量精度?
不知道我理解的对不对?还请各位多指点、探讨,
不过还没有找到有关“调制波长”观测问题的文章,
简直就不知道该检索什么“关键字”?
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另外值得参考的还有:
白光干涉测厚仪
http://www.kuanye.com/03.htm
原理:
众所周知,水上的油膜或肥皂泡有着五颜六色的颜色。
经过研究发现:这些颜色的变化是由于油膜或肥皂泡膜厚度的变化而引起的。
这种薄膜层上的颜色变化是基于干涉现象。
例如:两束反射光的叠加.
光线1和光线2的叠加光未受干扰地引入到放大器,
并且在白光光源的光谱中进行的设置。
(例如:以卤素灯作为仿白光光源)
因为两束光线不是纯正地叠加,因此就有干涉现象的发生。
应用:
薄的透明膜层或半透明膜层的干涉光谱可以使用TranSpec Spectrometer System
和HSL-2卤素光谱光源进行测量,从而得到膜层的厚度。
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http://www.jicheng.net.cn/resource/auto_news/yeneizhuanjia/1002394.html
二元光学器件刻蚀深度的精密检测是一项关键技术二没有精密检测,就谈不上精密加工,更谈不上制作精密器件。现有的台阶仪精度不高,分辨率只有0.01mm级,由于是接触式,会产生划痕,根本不能用。金国藩深知该问题不解决,将会严重影响二元光学器件的研制。他组织大家认真研究和分析各种测量技术,从电视图像处理技术中得到启发,将之与干涉测量显微镜结合,白光干涉仪形成的是彩色干涉条纹,但可利用其零级黑条纹随二元光学器件的台阶而产生的错位可推算出两个台阶之间的位相差及台阶深度。将干涉条纹通过电视摄像机摄入,再通过图像处理,得到分辨率达λ/120,重复精度2nm。既是非接触,又是纳米级,是二元光学研究的极好检测仪器。
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