氧化鋯鍍膜問題

wphyt · 发表于 2006-8-2 18:43:00

各位好：

我在鍍氧化鋯時發現有吸收的現象，基板為PC料，氧壓為2.6*10-3PA，請教應該怎樣避免吸收。

我用氧化鋯+氧化硅鍍制4層膜時，冷熱衝擊有膜裂的現象，請教是否是膜係設計有問題，誰能指點一下阿，最好給個膜係我來試鍍，謝謝！

再次求教！

氧化鋯鍍膜問題

jingxiaobao · 发表于 2006-8-7 01:08:00

试一下把氧加到 1.0E-2Pa