发雾啊``````头痛啊``````

jojojo

最近在做一批UV/IR``做到7罩左右呢`基片上面就会出现雾状```试了好多种方法``有换材料``改温度```甚至还换上了枪灯丝```可是没有用啊````最主要的是基片表面出来的不是全部都有雾状```而是基片周围2mm处没有雾状``说白了就是相框``如果说是全部发雾的话淡淡的还可以用的```相框就报废了```本人知道发雾最主要是水气``可是周围环境还可以的啊```湿度不是很高`````头痛啊```希望各位高手能给点意见``````````````````

gsz

工作可以辛苦！不可以痛苦！

用離子槍嗎？使用的是AR或O2？

snebur

用手擦片和机器清洗片对比一下.再次真空室打扫干净些.真空度提高些.改变蒸发材料的速率.原因很多.

xiaohe

试试加配一台真空室用低温捕集设备,改善镀膜环境.

nagayama

最主要的是基片表面出来的不是全部都有雾状```而是基片周围2mm处没有雾状``说白了就是相框

我的判断可能是治具(镀膜夹具)有问题!

建议改进方法:治具清洁和加温烘烤

jojojo

是用离子枪啊```不过可以肯定和这个没有关系``因为要是离子枪脏的话是它正对上去的几圈发雾``而我的问题不是这样子的```

jojojo

谢谢各位的指点``本人是新手啊```其实我怀疑是烘烤不到位的结果```因为我发雾是球罩的前面几圈``对比一下会发现前面几圈的基片和烘烤盘离得远点``要是夹具脏的话为什么后面几圈没有发雾呢```

zzzz

那测试一下温度场的均匀性

一镀出来就有吗？还是放一段时间才有？

eagle1

你的意思是，只有一些圈内没有发雾的现象？是中间的几圈没有发雾吗？