各位高手，请帮忙－膜发雾，谢谢

chenguoliang · 发表于 2007-1-8 06:58:00

各位高手，我是用磁控溅射镀cr/cu/cr电子薄膜，cu的厚度在2微米左右，玻璃基片为100度溅射时膜面轻微氧化；120度溅射时，膜面是白蒙蒙的一大片，请问，这白蒙蒙是氧化吗，氧化机理如何，谢谢！

nimbol · 发表于 2007-1-10 06:46:00

呵呵！你用玻璃清洗了吗？还经过烘烤了啊？或者有没有轰击啊？还有你说的起雾是整个玻璃吗？有什么事情可以和我联系！看你的消息！或者你的邮箱

chenguoliang · 发表于 2007-1-10 20:19:00

楼上的高手，我的QQ：124997753

能否把你的联系方式告知，当面请教，谢谢

zzzz · 发表于 2007-1-11 15:38:00

镀那么厚的金属,根本就看不见基底表面了,除非是从非镀膜面看过去.

楼主说的是金属膜面发蒙吗?

chenguoliang · 发表于 2007-1-12 01:45:00

楼上的高手，是从膜面看的，这几天我怀疑是否温度和功率太高所致，望各位帮忙