求助脱膜的问题

lianghuafeng · 发表于 2007-3-14 00:57:00

昨天我镀了一次长波通滤波片的膜，具体参数是这样的：

镀膜材料：ZnS，MgF2

基片温度：150度，总共有24层。

使用电子束蒸发，镀完之后，拿出来时温度是60°，可是脱膜了，由于是新手，不是很清楚原因，请哪位好心人帮忙看看

，分析一下看是什么原因。先谢谢了！

我的联系方式：qq：476611723，email：lhfsemail@163.com

315 · 发表于 2007-3-14 01:54:00

为什么不用氧化钛和氧化硅?

终南子 · 发表于 2007-3-16 02:12:00

MgF2应力大,你又镀那么多层,膜裂就不奇怪了.

john03062003 · 发表于 2007-3-23 18:52:00

这两种材料都是软膜料，镀这么多层不该选择这两种材料，试试Ta2O5 和SiO2