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我们的网址：www.opco.com 给大家总结一下我产品的主要优势：
一、 真空配置 机械泵、罗茨泵和扩散泵的抽气速率曲线不同，也就是说适合的气压范围不同，机械泵到100帕以后抽速开始下降，罗茨泵从1000帕到1帕有很好的抽速，再高真空就要靠扩散泵了。所以三个泵的配合是一般的标准配置，低档镀膜机为省成本才配两只泵。 二、 双层冷阱能更好的降低返油。而且我们使用的双层冷阱内部冷却管是在铜挡板上满绕的，而普通的只是冷却管在里面盘一个简单的梅花形。所以这种冷阱的效果非常好。 三、 真空测量： 真空测量用两点时，是指在真空室内有两只规管测量高、低真空，而三点测量是除此之外在管道或扩散泵的出口处再加一路低真空测量，它的用处：一是对罗茨泵的起动和停止进行正确控制，二是对管道系统和扩散泵的状态进行监视，如发生真空异常可及时报警或停机，以免造成更大损失。 四、 基片烘烤 采用三段加热管独立可调的方式，是为了温度的均匀性考虑的。选用的温控仪表是PID调节方式的。低档机在这种小机器上只用一根加热丝。 五、 工件旋转 手动时用面板上的旋钮调节转速。自动时程序自动判断使用高速还是低速，可以避免人操作时忘记调速的错误。 六、 均匀性修正板（MASK） 气动修正板是气动可放倒的。如果使用双枪或想对高、低折射率料使用不同的修正板时，可以用两块这样的修正板，程序可以自动决定使用哪只板。 当然，如果只用一只修正板时，也可以考虑手动型的，我们的手动型也可以很方便的放倒和支起来。 七、 气动元件 镀膜机上各种阀门和某些运动部件的控制要靠气动元件，其中很多要长时间通电保持，所以对它们的可靠性要求很高。我们采用的是日本SMC、KOGANEI以及台湾亚德克的元件。 八、 水流开关 水流开关用来对泵、枪等的冷却水进行监视，如果这些部位水流量不满足时得不到处理将会是灾难性的后果。所以选用质量好的工业级部件是明智的。 九、 光控 单波长检测，“光源+光纤+单色仪+光电倍增管+锁相放大器”的构成方式，就目前来说，好一点的系统就是使用日本的光电倍增管，锁相放大器做得更稳定一些，操作更方便一些。总体的稳定性得到了提高。成本提高不到1万元。 自动的光控是在好的系统上配电脑和相应的软件，操作者把膜系输入到电脑中，镀膜过程当中，当达到设定厚度时电脑输出停止信号。采用此系统将增加超过十万的费用，所以建议用户在必要时才选用。 十、 晶控 晶控目前在国内流行的是MAXTECH和INFICON两家的，TELEMARK现在也在推晶控，价格最低，但反应不是太好。MAXTECH公司的MDC360C是目前国内使用较多，相对较便宜的，INFICON的IC5精度比360好一点，价格贵很多。晶控头可以用单片的、双片的或六片式的。单片式的因为没有备份，给人不保险的感觉，双片式的保险一点，但两片不在同一位置，要求严格时可能要两个TOOLING，六片式的解决了备份问题，同时在水冷却上比那两种要好很多，但格昂贵。如果要求高、膜层多，可以选用六片式的。 十一、 离子源 关于离子源，国内的可以选用一下中科院空间中心的或镨玛泰克的源。镨玛泰克价格稍高一点。但这两种都不能自动控制。进口离子源目前在国内使用比较多的是Veeco的MarkII，价格较高。 适用于630机箱的参考价格： 空间中心：近6万 镨玛泰克：近8万 Veeco：约8万美元 十二、电子枪： 电子枪是镀膜机的核心部件。它的扫描状态和高压、束流的稳定性决定了一把枪的品质。我们的电子枪在三角波的扫描驱动下能打出近似方形，说明了磁场结构以及扫描的线性都很好；高压和束流几乎稳定不动（数字表）；完备的控制和反馈接口，可以方便地组成可靠的自动控制系统；外部电压控制的线性度很好，使蒸镀束率的自动控制非常容易实现。 | 
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发表于 2007-3-24 17:08:00
![[推荐]镀膜机](data/attachment/forum/dvbbs/2007-3/200732497545631.jpg "[推荐]镀膜机")
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