[求助]关于晶振仪

Guopt · 发表于 2007-4-22 04:12:00

各位大侠：

小弟试验用的设备配备的还是老式的XTC-2晶振仪，最近一次试验做了几罩之后沉积速率的控制就不准了（非常不准设置为3埃，变化范围-50～80），导致束流变化范围也很大（0-400），晶振片是开始试验的时候清洗的。不知道是什么问题，向各位请教。知道可能原因的还望不吝赐教。在此先谢过啦！

hacker · 发表于 2007-4-22 16:37:00

检查或清洁一下电子枪了﹐可能是灯丝弯了或枪太脏了

Guopt · 发表于 2007-4-23 21:41:00

谢谢，也有可能。这个枪使用了有一段时间啦！

为什么电子枪有问题就会影响到晶振仪啊？是打出来的膜料不均匀么？

电子枪的灯丝能不能清洗啊？我们备用的不多啊!

Leesnow · 发表于 2007-4-23 21:52:00

你们用的是什么枪啊，好象是不可以吧！

李伟华 · 发表于 2007-4-23 23:29:00

蒸发过程中厚度

波动大

1. 晶片受损

2. 晶片接近更换寿命

3. 晶片holder有脏物

4. 应力产生附着膜层脱落

5晶片被蒸发源的熔化材料冲击。

6. 小的磁性物体对探头产生影响

小技工 · 发表于 2007-4-24 18:34:00

赞同版主提供的建议，

putinzhenkong · 发表于 2011-9-23 11:42:55

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