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求助：薄膜理论厚度与与监控厚度的转换

发表于 2007-6-6 21:37:53 | 显示全部楼层 |阅读模式

膜系设计的理论厚度（物理厚度）与实际操作的监控厚度（石英晶阵）之间如何转换啊？

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发表于 2007-6-7 10:49:01 | 显示全部楼层

晶控里不是有TOOLING的算法吗?
大家都不看说明书吗?

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发表于 2007-6-7 16:50:07 | 显示全部楼层

楼上说的对,因此,只要变TOOLING,想怎么换算都行.

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