IR-CUT镀后麻点

OBC · 发表于 2007-6-19 14:04:08

各位：帮忙分析下是那些原因导致IR-CUT镀后麻点，镀前经显微镜检查光洁度是OK的.谢了

终南子 · 发表于 2007-6-19 22:14:17

要说清楚一点了

tfc · 发表于 2007-6-20 15:02:04

你可以看关于喷点的文章,加上洁净、纯的膜料

little-goat · 发表于 2007-6-20 17:46:44

与使用膜料有关

john03062003 · 发表于 2007-6-22 13:04:07

镀得层数多，麻点应该比较难以避免，如果腔内洁净的话，这与膜料的纯度，以及光斑质量和蒸发速率有很大关系。

wazxq · 发表于 2007-6-22 17:54:41

光洁度问题是一个很大的问题!!涉及比较多

zzzz · 发表于 2007-6-25 07:59:26

涉及太多
越深入越困难

Ma_Malp · 发表于 2007-6-25 14:03:33

还好此问题我已经基本上解决了,不过为了解决此问题公司还是花了不少地银子,哈哈(偷笑,反正花的不是自己的钱)

weizhong · 发表于 2007-6-26 15:20:58

处理好你的真空室环境，之后最好检查一下你的膜料看是否有污染,镀之前还要把膜料熔好才行，否则这几方面都会产生你出现的情况

weizhong · 发表于 2007-6-26 15:23:13

你的基片虽然是洗的很干净，但是当一开始抽真空的时候，镀膜机里擦不到的灰尘就会漫天飞舞吸附到你的基片上，所以你镀之前是否进行离子源或离子轰击处里

weizhong · 发表于 2007-6-26 15:24:07

有兴趣的话加我QQ53205486 13622044351

zzzz · 发表于 2007-6-27 08:43:53

8楼的也不透露点诀窍给大家,
太不厚道了.