IR-CUT透过率不高？

niechunyang · 发表于 2007-8-23 21:15:05

有的大于90。有的小于90

dwzgy · 发表于 2007-8-23 22:29:02

太简单了
多说点情况
最好有曲线
还有关键工艺参数

niechunyang · 发表于 2007-8-29 20:19:35

好的，我给你们资料明天，谢谢了，急呀

niechunyang · 发表于 2007-8-30 20:10:02

我们用的是光弛OTFC-1300,有栅考夫曼离子源, 用OS-50和SIO2(硅环)
OS-50压力1.6E-3,离子辅助离子源参数 O2 55sccm Ar1 5sccm Ar2 5sccm
400-630 那里透设率偏底,要都大于90%才行.
不知道有那里疏忽了,请教师傅们,谢谢.急呀!!!

dwzgy · 发表于 2007-8-30 23:07:13

发张图上来看下
有清洗吗

Frey · 发表于 2007-8-31 16:57:14

你好！
几号机器？？？

shaodong1311 · 发表于 2007-9-1 19:42:24

是不是你的膜系的初始设计不够宽啊,从400nm开始的,设计要做到390nm啊.

IR-CUT