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宽带增透探讨

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发表于 2007-9-6 08:05:36 | 显示全部楼层 |阅读模式
在做400-700高透要求每一点小于0.5%  用al2o3   h4  mgf2  选了两种膜系 mgf2  al2o3  h4   mgf2
     与mgf2  al2o3   h4  al2o3   mgf2  不知道可好,我做了效果不是很好,是材料和膜系有问题吗,谢谢师傅们的探讨
发表于 2007-9-6 09:12:22 | 显示全部楼层
al2o3和H4都不是很稳定的料,控制起来比较难
发表于 2007-9-6 18:29:34 | 显示全部楼层
是R<.5%吧,不难主要看什么材质
 楼主| 发表于 2007-9-7 12:31:09 | 显示全部楼层
在普通玻璃上呀,H4还不稳定那该用什么?
发表于 2007-9-9 14:44:34 | 显示全部楼层
试一试TiO2/SiO2/TiO2/SiO2
发表于 2007-9-10 21:12:09 | 显示全部楼层
第一层不用氟化镁,主要是把吸收问题解决一下,应该可以
发表于 2007-9-11 11:22:52 | 显示全部楼层
弱弱地问一句,H4是什么膜料啊?
发表于 2007-9-12 00:17:28 | 显示全部楼层
S/H4/MgF2/H4/MgF2/H4/MgF2/Air,分光够宽,前两层镀稳定整个分光就稳定了.分光变异了制程也好修.在光学玻璃上镀AR膜Al2O3/H4/MgF2的组合是成功的,有时候考虑到品质问题首层需要镀Al2O3.
发表于 2007-9-12 00:20:27 | 显示全部楼层
个人经验来看Ta2O5不是那么稳定,用jeol离子源辅助镀膜的时候分光变异很奇怪的,不过R<0.5%的制程可以做,0.3的就不稳定了.
发表于 2007-9-13 10:21:56 | 显示全部楼层
用离子枪辅助,采用ZNS/MGF2膜系工艺.效果不错的.
发表于 2007-10-11 16:27:24 | 显示全部楼层
ZrO2和mgF2
发表于 2008-1-10 19:23:30 | 显示全部楼层

回复 #5 zinuo009 的帖子

为什么必须用光控呢?应该是晶控比光控更精确啊
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