TA2O5性质

niechunyang · 发表于 2007-9-22 06:40:54

我镀膜时候有发黄现象膜系 AL2O3 TA2O5 MGF2 TA2O5 充氧气135 SCCM 压力为0.02PA 无离子源辅助，但是镀膜完后，镜片发黄，基片为防爆玻璃 N=1.46 请教师傅们给点建议

niechunyang · 发表于 2007-9-22 06:57:39

应该是这个才对 1M (HL)^8 (1.42H1.42L)^8 1.42H 0.65L

cl610 · 发表于 2008-12-14 16:15:42

是做增透膜吗?我这两天也遇到了这个情况.是用流量计控制充氧量的吗?ta2o5预熔多长时间?

999520 · 发表于 2008-12-14 18:43:35

TA2O5,最准确的冲氧量应该是多少？请指教

dwzgy · 发表于 2008-12-14 19:35:24

应该不是Ta2O5的问题
Ta2O5失氧很少

shjygx · 发表于 2008-12-15 12:37:43

黄能解决，不难。