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镀膜的一些问题

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发表于 2007-10-16 10:40:07 | 显示全部楼层 |阅读模式
为什么有的基片不能用离子源来刻蚀,一旦刻蚀了基片就会发朦?
 楼主| 发表于 2007-10-16 10:41:39 | 显示全部楼层
是根据基片的什么性质?
发表于 2007-10-28 22:44:04 | 显示全部楼层
我也想了解一下
发表于 2007-10-28 23:19:32 | 显示全部楼层
离子源辅助镀膜,基片会发蒙?楼主请具体说明你的情况,我们现在也在用离子源辅助镀膜,但是没有和你说的这种情况一样,呵呵,有兴趣的话,可以和我联系:happyboy8877@163.com
发表于 2007-10-29 15:03:48 | 显示全部楼层
你用的是什么源,我们也没有出现你说的情况,
希望你说具体点,共同探讨。
发表于 2007-10-29 19:56:28 | 显示全部楼层
能不能详细说一说                    ...
发表于 2007-10-30 12:33:28 | 显示全部楼层
你用的是什么离子源,我们也有你说的这种情况,
希望你说具体点,共同探讨。
发表于 2007-10-31 18:37:51 | 显示全部楼层
我看是你的离子源功率太大了,把镜片表面打坏了.
发表于 2007-11-8 22:53:58 | 显示全部楼层
说的详细一点!不然无从下手
发表于 2007-11-9 20:56:52 | 显示全部楼层
问题首要点是:你用的什么基材?
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