请教PECVD设备在光学镀膜中的用途

huweiqian · 发表于 2007-11-20 15:42:43

如题，请教PECVD设备在光学镀膜中都有哪些用途？DLC？BP？还有没有其他的？

huweiqian · 发表于 2007-11-22 17:12:11

看来用此类设备的人还是很少的,其实有很多军用的都是用此技术.

bobo0508 · 发表于 2007-11-25 19:16:48

难道不是磁控溅射镀膜吗？？？？？？？？？？？？？？？

huweiqian · 发表于 2007-11-25 22:13:38

PECVD是等离子增强化学气象镀膜，不是磁控溅射。在镀特殊材料和特殊表面（如小球，指要将整个球的表面全部镀膜）有非常大的优势。

zzzz · 发表于 2008-2-22 15:48:33

设备贵买不起
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huweiqian · 发表于 2008-2-28 10:42:06

有可能，还有可能市场本身也不大。不过，PECVD设备本身跟电子枪，溅射设备价格应该差不多。

HGcoating · 发表于 2008-2-28 15:09:51

我公司就有PVCD，主要用来生长SIO2材料。和激光器管芯光栅这用。

HGcoating · 发表于 2008-2-28 15:13:56

我公司就有PCVD，主要用来生长SIO2材料。和激光器管芯光栅这用。

风之炫彩 · 发表于 2008-4-2 14:54:57

这个，偶只知道半导体行业用它做介质层的多

hlwolf_2 · 发表于 2008-5-22 10:33:27

我正在使用PECVD设备并作相关研究，主要研究生长SiNx,SiO2

希望有做相关研究的朋友可以交流交流，分享相关资料

lengyuping@gmail.com

huweiqian · 发表于 2008-5-22 15:01:59

是不是做的是太阳能方面的应用啊，楼上的？