镀膜过程中充O2的目的和作用是什么?

hamtondic · 发表于 2008-9-10 17:36:03

原帖由 huang12949 于 2008-2-5 08:39 发表
离子源的作用:通俗地讲是,惰性气体分子(一般是氩气)在通过热灯丝被电离成带正电的氩离子,加速冲击基底表面,打掉基底表面上粘接不牢的膜粒或表面上残存的灰尘颗粒,从而起来清洁表面和砸实膜层的作用;离子源还可以起来 ...

这里应该不是惰性气体Ar,应该是氧气，对于有一种等离子枪是Ar和O2相结合应用的。

无语了 · 发表于 2008-9-13 07:42:25

我们用的离子源是又充ＡＲ气，又充Ｏ２，他们２者都是如何工作的，谢谢

mm4al · 发表于 2008-9-15 01:20:57

O2应该主要是氧化作用,与药材反应形成氧化物.我想请教关于O2,Ar等气体的量的大小是依据什么去控制的,为什么有些是250有些又是350或更大呢

ji8022 · 发表于 2009-1-15 13:43:38

各位的说明很好。哈哈

zhangking · 发表于 2009-1-15 22:40:20

Ar是用来离子辅助镀，增加牢固度等作用。有些o2是为了防止药材在高温和真空中还原了，改变了原来的性质和折射率例如Al2O3,tio2；有些o2是直接来氧化药材,如hf等

singlewolf · 发表于 2009-1-18 15:38:35

o2 作用少说了一样，还可以做真空度的一个平衡的。

shuijing85 · 发表于 2009-2-18 09:40:01

学习了楼主辛苦
对不起，您的帖子小于 20 个字符的限制，请修改

gzbeseem · 发表于 2009-2-18 14:12:20

清洗基板，增强附着力，是膜层更致密

森林小树 · 发表于 2009-2-19 12:41:38

11# 宇宙深处

森林小树 · 发表于 2009-2-19 12:42:56

13# hamtondic

是氩气

森林小树 · 发表于 2009-2-19 12:49:39

镀膜加氧主要作用就是保持药材的折射率不变。电子束轰击材料会是材料脱氧，加氧使其还原。离子源主要是清洁基板，增加膜层致密度，但应力也会变大