镀膜求助

hezhiwei629 · 发表于 2008-1-16 16:01:54

我在真空度为9.7E-5mbar的条件下镀铝然后SIO2为保护层(SIO2的膜层很薄大概为7nm厚度)要求170-900nm R>85% 为什吗在170-200nm和在铝膜的转折点830-800nm的时候R<85% 哪为高手能帮忙解释下先谢谢了

hezhiwei629 · 发表于 2008-1-17 08:23:21

哪位高手帮忙指导下呀!!!!!!!!!!!!!!!!!

zzzz · 发表于 2008-1-17 08:35:47

你是如何测试绝对反射得?测试准确性如何?
SIO2在200nm以下有吸收.

hezhiwei629 · 发表于 2008-1-17 13:24:52

我是使用PERKIN ELMERL LAMBDA19 UV/VIS/NIR 测试的绝对反射因为SIO2只是作为保护我们只镀60nm(设计数值) 因为我们以前是在新加坡做的可以达到要求可是回来之后就达不到要求了
我们在那边是8.0E-6mbar才开始镀的在中国压强只能达到9.0E-6mbar 会不会是压强低了些造成的????

[ 本帖最后由 hezhiwei629 于 2008-1-17 13:26 编辑 ]

zzzz · 发表于 2008-1-18 10:21:55

你用的是V-W反射架还是用专门的组件测绝对反射?
SIO2厚度再减点

hezhiwei629 · 发表于 2008-1-18 16:00:32

我用的是V-W反射架我现在实际镀上SIO2的厚度大约为6-7nm的厚度我怕太薄了保护膜有问题呀虽然减少SIO2的厚度但是对于提高800-850nm阶段的R 用FILMSTAR软件看几乎是不变的呀. 您还能帮我想想还有其他什吗地方会影响到吗???先谢谢了.

john03062003 · 发表于 2008-1-21 09:55:25

软件设计的都是些理想的情况，但还要看具体的基片，还有测试绝对反射率要用专门的测试装置才行，你所测的是一个参比出来的数值，不是很准确！

zzzz · 发表于 2008-1-23 08:19:35

如果你的厚度确定是正确的
那就测试系统可能有问题,170-200可能测试精度就不高

hezhiwei629 · 发表于 2008-1-23 10:57:00

我还想再问一下 SiO2在200nm以下吸收与真空度的关系大概真空在多少时可以减少SiO2的吸收???

HGcoating · 发表于 2008-1-23 11:22:30

如果不是测试误差就是厚度有问题了，衍射比形成光栅测出来就会那样。具体还要看情况才能确定

yuangong · 发表于 2008-1-23 20:19:22

我公司可承接各类光学镜片镀膜,镀膜设备先进.
联系电话:13844946917 李坤

zzzz · 发表于 2008-1-28 14:16:12

设备先进？？
啥设备啊？？？？？？？？？？？？？？？？？？

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