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磁控溅射镀膜设备

火 [复制链接]

发表于 2008-3-13 15:04:16 | 显示全部楼层 |阅读模式

附件种的为非平衡磁场磁控溅射设备的介绍资料，感兴趣的可以看看。

AMLPresentation.pdf

3.85 MB, 下载次数: 150, 下载积分: 光电贝 -10 元

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发表于 2008-3-13 16:06:01 | 显示全部楼层

非平衡目前主要应用在工具镀上！！

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发表于 2008-3-28 12:52:36 | 显示全部楼层

资料很好,谢谢您的阳光普照!!!

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发表于 2012-5-30 14:37:39 | 显示全部楼层

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