电子枪速率

无语了 · 发表于 2008-5-18 08:12:20

双电子枪镀滤色片,SIO2速率设定8,实际只有4出现过几次,而且蒸镀结束后电脑里没有过程记录,怎么回事,大家帮忙分析下.

zzzz · 发表于 2008-5-19 08:44:22

1、设置错了
2、软件故障
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镀膜加游戏 · 发表于 2008-5-19 16:22:37

sensor 换一个新的！！

再有看看程序！

镀膜加游戏 · 发表于 2008-5-19 16:28:36

power 升到设定值了吗？

power 是多少？？你们的设定是多少？

shaodong1311 · 发表于 2008-5-20 22:15:38

应该是你的SIO2的密度设置的不对，或者是Z值没设对，后者的希望比较大，你先看看！

liyazhou · 发表于 2008-5-27 10:47:39

设置问题或软件问题...........................................

zzzz · 发表于 2008-5-27 12:59:57

楼主解决问题了没?
怎么也没个回应啊.

optin · 发表于 2008-5-27 14:00:42

这个现象是瞬间的低点，并不会影响沉积过程。

镀膜加游戏 · 发表于 2008-5-28 09:10:09

这楼主真不厚道！！

没踪影了

hezhiwei629 · 发表于 2008-5-28 09:49:34

应该是参数设置有问题了吧去查查IC/5的设置

nation · 发表于 2008-7-4 00:20:36

都是简单问题啊从材料入手解决。

tfc · 发表于 2008-7-4 08:14:59

不够详细,你是说蒸发速率太低吗?达不到8?那同时有什么现象?另一种高电流的正常?
镀SIO2时是不是探头被挡了,SIO2有没有镀的特别厚?