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请各位为高手看看这样的膜系结构工艺上能实现吗?
层数 材料 膜厚/nm
1 Si 21.76
2 SiO2 101.89
3 Si 43.53
4 SiO2 101.89
5 Si 43.53
6 SiO2 101.89
7 Si 43.53
8 SiO2 101.89
9 Si 43.53
10 SiO2 101.89
11 Si 21.76
12 SiO2 200.92
13 TiO2 250.65
14 SiO2 401.85
15 TiO2 250.65
16 SiO2 401.85
17 TiO2 250.65
18 SiO2 401.85
19 TiO2 250.65
20 SiO2 401.85
21 TiO2 250.65
22 SiO2 200.92 |
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