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求助!

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发表于 2008-5-20 22:10:42 | 显示全部楼层 |阅读模式
请各位为高手看看这样的膜系结构工艺上能实现吗?
层数        材料        膜厚/nm
1        Si        21.76
2        SiO2        101.89
3        Si        43.53
4        SiO2        101.89
5        Si        43.53
6        SiO2        101.89
7        Si        43.53
8        SiO2        101.89
9        Si        43.53
10        SiO2        101.89
11        Si        21.76
12        SiO2        200.92
13        TiO2        250.65
14        SiO2        401.85
15        TiO2        250.65
16        SiO2        401.85
17        TiO2        250.65
18        SiO2        401.85
19        TiO2        250.65
20        SiO2        401.85
21        TiO2        250.65
22        SiO2        200.92
 楼主| 发表于 2008-5-21 07:21:15 | 显示全部楼层
大侠们帮帮忙阿!谢谢!!!!!!!!!!!!!!!!
发表于 2008-5-21 10:23:46 | 显示全部楼层
比较难
/////////////////////////
发表于 2008-5-27 10:46:06 | 显示全部楼层
可以.................................................
发表于 2008-5-27 13:02:29 | 显示全部楼层
楼上如何准确控制SI的折射率呢?
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