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光弛机表面问题

发表于 2008-6-7 14:09:27 | 显示全部楼层 |阅读模式

做滤色片时,成品表面白白的雾,工件盘烘烤温度260度,TIO2充氧1.5E-2,请教各位

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发表于 2008-6-11 22:46:21 | 显示全部楼层

温度降低一点呀，会好点的，

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发表于 2008-6-24 09:55:30 | 显示全部楼层

首先确认你的洗净方面和材料方面是否有问题，然后确认温度和APC

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发表于 2008-6-30 23:01:17 | 显示全部楼层

呵，呵，白色的问题，这可是比较常见的问题啊。

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发表于 2008-9-5 13:15:00 | 显示全部楼层

可能是基底被氧化,与APC的充氧量关系不大.

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发表于 2008-9-14 08:07:02 | 显示全部楼层

这个白色物绝大多数情况是和清洗工艺有关,如清洗液的选择和脱水是否干净,烘干时间是否够长等。

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发表于 2008-9-17 19:28:56 | 显示全部楼层

温度或者氧气大小的问题

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发表于 2008-12-2 20:59:29 | 显示全部楼层

又是白浊问题，与氧气和排气能力有关

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发表于 2008-12-3 10:18:56 | 显示全部楼层

你在镀前用强灯哈气检查下先。

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发表于 2008-12-3 17:17:51 | 显示全部楼层

可能是TiO2的过度氧化

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