2050机器的均匀性问题

qx__wei · 发表于 2008-6-11 09:09:41

2050的机器，除了MASK的形状外，均匀性的其他影响因素都包括哪些！？谢谢，请指导！！！
一直没调好均匀性

liwenjuanlwj · 发表于 2008-6-11 10:46:01

你这机器调的时间够辛苦了，加油！

snebur · 发表于 2008-6-11 22:31:17

2050 这么大的设备，那不是要好几台抽气泵。

zzzz · 发表于 2008-6-12 12:50:42

主要有离子源位置\参数,电子枪位置\参数

zzh1011 · 发表于 2008-6-12 12:53:42

这么大的设备，均匀性是不好搞！

777秋枫 · 发表于 2008-6-12 13:34:56

这么打的机器，打料位置的重复性也很重要

qx__wei · 发表于 2008-6-18 13:14:08

是啊！MASK形状都要试验很多次，还有离子源的角度！！！

AppliedThinFilm · 发表于 2008-6-19 20:51:12

行星夹具还是？

qx__wei · 发表于 2008-6-20 01:13:08

普通的转架，转架变形，工装板变形都对彩膜的均匀性影响很大

AppliedThinFilm · 发表于 2008-6-20 11:09:20

mask尽可能贴近工件架，并保持稳定

qx__wei · 发表于 2008-6-20 15:09:54

MASK 的高度已经固定了，形状很难调整！变化比较大！最近发现一个问题，工装板和转架的变形给均匀性造成很大的影响

AppliedThinFilm · 发表于 2008-6-20 19:39:06

是的，均匀性稳定的前提是基底位置和角度的稳定。
控制片的厚度控制能稳定么？