话说投影物镜的设计

blackdarck

请问激光直写系统中，投影光刻物镜如何设计，要求具有高的分辨率，低球差和畸变，精缩倍率为5：1或10：1，由于系统使用单色光，不考虑色差的影响！希望大家参与讨论！回复！
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