EUV镀膜

huweiqian · 发表于 2008-6-24 13:05:25

附件中所示为这次在德国OPTOTEC2008拿到的关于EUV的镀膜的资料，由IOF的KAISER做的。大家讨论一下国内制作这种高精度薄膜的能力，以及国内哪里可能会做这样的薄膜？听说国内也要开始做EUVL了。

nation · 发表于 2008-6-30 22:55:48

是莱宝的机械简介吗，能够做到比这更加好的国内多的是。

huweiqian · 发表于 2008-7-1 13:53:51

这个不是莱宝的机械简介，你说国内比这更好的多的是，麻烦给我举个能够做13NM波段的反射膜的单位出来？反射率做到了多少？

jiayuch · 发表于 2008-7-1 16:10:44

13nm波段用什么材料？

zzzz · 发表于 2008-7-1 16:42:10

Mo/Si了
R>66%

jiayuch · 发表于 2008-7-2 10:28:17

13nm 波段用什么仪器测量反射率啊？

huweiqian · 发表于 2008-7-2 12:27:46

国内哪个研究机构做到这个水平了？

nation · 发表于 2008-7-17 01:05:59

长春光机所
可以去问，我听同事说他们做过这个，

huweiqian · 发表于 2008-7-17 13:37:56

你是说原来的王占山先生吧，不是现在在同济大学了嘛？要不还是你问问？

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