求助：用氧化铟锡陶瓷靶与用铟锡合金靶要如何设置参数

b57322710 · 发表于 2008-7-30 10:10:53

求助：用氧化铟锡陶瓷靶与用铟锡合金靶要如何设置参数
磁控溅射的
现在网上找的一些资料说溅射温度90 溅射功率200W AR与O2的分压比为40：10

但机器上我们不是要设置O2流量与 AR流量这些我不知道怎么设置
刚进这行没几个月希望高手给我介绍下

xbimr · 发表于 2008-7-30 17:12:14

可以google查文献，还是蛮多这方面的。

假如是玻璃的，直接温度上300度吧，你的这个温度太低了，除非是刻意要求。

noodlesy · 发表于 2008-8-1 12:39:21

是不是质量流量计？是不是质量流量计？

nation · 发表于 2008-8-3 17:14:44

你要镀的是什么要求，就用什么样的参数。