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VEECO机Al靶的工艺参数

发表于 2008-8-12 08:40:07 | 显示全部楼层 |阅读模式

哪位同仁有VEECO机的Al和Ti的工艺参数？

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发表于 2008-8-26 16:47:01 | 显示全部楼层

楼上的朋友,你们用的是VEECO的机器吗?是不是spector(IBD)离子束溅射系统啊.怎么联系.

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楼主| 发表于 2008-8-26 20:40:54 | 显示全部楼层

是离子束溅射系统

是离子束溅射系统,您用过么?

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发表于 2008-8-27 18:12:17 | 显示全部楼层

想用这个系统做个AL2O3膜,不知兄弟是哪个单位,能联系下吗?
ferrylei@126.com

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发表于 2008-8-27 21:56:10 | 显示全部楼层

要自己找，自己去摸才可/。

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