真空室里面细细的点子

baron · 发表于 2008-9-1 18:39:49

最近一段时间,发现还没镀膜之前,基片已经有细细的点子,而且上下两个面有时候都有,有的时候中间重一些,抽真空和旋转同时进行的情况下,大家有没有见过类似的事情?如何解决??可能跟镀膜机里的哪个系统有关

lukaiyan · 发表于 2009-3-23 17:47:03

炉内太脏引起的，注意清洁度，还有空气干燥注意湿度和静电。

gxbm · 发表于 2009-3-30 11:33:22

洗吧，那还等什么。。。。。。。。。

JZNT · 发表于 2009-3-30 15:46:53

主要还是炉内较脏，真空室内打扫不彻底。还有就是车间的洁净度达不到要求。

缘睐汝痴 · 发表于 2011-9-6 16:38:23

炉内太脏，我试试，看谢谢了

laoxianccc · 发表于 2013-4-26 15:51:46

注意机器的清洗

LOUYC · 发表于 2013-7-22 14:52:03

crl0129 · 发表于 2013-12-13 12:05:08