请教蓝宝石 Material: 0 degree Sapphire optical quality finish

sinoint · 发表于 2008-9-2 14:15:38

请教蓝宝石 Material: 0 degree Sapphire optical quality finish 如何翻译? 是指的是材质还是表面处理啊? 6.25英寸(159mm)直径, 厚度为1.5mm(+/-0.0025mm) 这样的要求国内有能加工的吗

sinoint · 发表于 2008-9-2 14:37:58

以上蓝宝石晶片不是用于LED用途, 没有晶轴及定边长的要求

Joshua.Xia · 发表于 2008-9-2 15:01:34

就我所知，即使是买来材料加工，国内可能没有能做的。
C面蓝宝石

sinoint · 发表于 2008-9-2 17:42:57

原帖由 Joshua.Xia 于 2008-9-2 15:01 发表
就我所知，即使是买来材料加工，国内可能没有能做的。
C面蓝宝石

0 degree Sapphire optical quality finish 指的是C面蓝宝石吗? 是用做wafer carrier 的,不是用于LED的

Joshua.Xia · 发表于 2008-9-2 19:30:35

是的，wafer carrier要求用C面很正常的，这个在2寸的上非常之多，现在很多衬底价格之所以很便宜，相当一部分就是来做这个的，以前有个0.33的双抛的就是做这个，现在已经有0.33单抛了，但是我们国内现在多数还是采用0.43单抛的

当然您的carriera具体是哪儿的就不清楚了，看这尺寸是不是LED的，应该是Ultra CMOS的，但好像又不应是C面，不过您的规格确实是C面

zhsapphire · 发表于 2008-9-4 23:39:58

我的理解是蓝宝石0度光轴方向（c轴），不是C面，一般的光学抛光（80/50)就可以。我想很多公司都可以做。

sunsboy · 发表于 2008-9-5 09:21:44

蓝宝石的光轴垂直与C面即C轴，与光轴夹角0度。应该单指C面的晶体。

sinoint · 发表于 2008-9-5 10:19:21

原帖由 zhsapphire 于 2008-9-4 23:39 发表
我的理解是蓝宝石0度光轴方向（c轴），不是C面，一般的光学抛光（80/50)就可以。我想很多公司都可以做。

多谢! 那6.25英寸(159mm)直径, 厚度为1.5mm(+/-0.0025mm) 这样的要求国内很多公司都可以做吗?
光学抛光要求是双抛, 大于95%的前表面雾状小于2.5 ppm, 两面 scratch free,应该不应该有具体数值要求啊?
另外我查了一下wafer carrier好象应是衬底片载盘, 6.25英寸(159mm)直径载盘可以用来放置多个2英寸衬底片, 这样可以降低LED材料的生产成本, 不知我的理解对不对?

CD_LYS · 发表于 2008-9-5 17:21:01

公差很小，不好搞定。2.5PPM这个换算过来是多少光洁啊？？？

Joshua.Xia · 发表于 2008-9-5 18:14:15

厚度为1.5mm(+/-0.0025mm) ,就这个，TTV要求0.0025mm，我想国内就没有能做到的，我们国内目前2寸的片子的水平也就0.005mm而已，何况这是159的片子；

这个片子不一定是做2寸 wafer载体的，可能是做6寸的载体的，不一定LED应用的，可能应该是Ultra CMOS领域；
LED目前最大的好像应该是4寸

Joshua.Xia · 发表于 2008-9-5 18:23:12

蓝宝石衬底片在做外延时，不管是几片机台，其各片之间不是放置于一个平面，而是跟机台中心成一定角度并呈圆形分布，所以不应该是2寸片的载体

sinoint · 发表于 2008-9-5 21:26:13

原帖由 Joshua.Xia 于 2008-9-5 18:23 发表
蓝宝石衬底片在做外延时，不管是几片机台，其各片之间不是放置于一个平面，而是跟机台中心成一定角度并呈圆形分布，所以不应该是2寸片的载体

非常感谢! 不过我看到有报道制备Ⅲ族氮化外延材料是采用这样的方法。

请教蓝宝石 Material: 0 degree Sapphire optical quality finish

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