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铝镜针孔多,为什么

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发表于 2008-9-9 17:05:17 | 显示全部楼层 |阅读模式
我镀的铝镜,透光看有很多针孔,不知道是铝濺点还是灰点,怎么区别这两种情况。我是用电子枪来蒸镀的,没镀前,基片看不出有什么问题。
发表于 2008-9-9 21:27:12 | 显示全部楼层
检查一下真空室是否清洁.
发表于 2008-9-9 22:00:42 | 显示全部楼层

镀铝

铝不太好镀啊   易喷溅  
基片的清洁度很重要  有没有在显微镜下看  20倍以上的
发表于 2008-9-10 10:24:32 | 显示全部楼层
我镀铝都用阻蒸镀,你可以试一试。用钨丝!
发表于 2008-9-10 17:02:32 | 显示全部楼层
电子枪电流太大,电子击射的
发表于 2008-9-10 17:17:21 | 显示全部楼层
是应力的原因,你用电阻蒸镀可能要好一点.
 楼主| 发表于 2008-9-10 19:41:59 | 显示全部楼层
如果是膜濺点,怎么判别?
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