请问大家如何清洗管路气体（刚装离子源或者刚换气体时）

liulangzhe · 发表于 2008-10-6 20:01:58

请问大家清洗管路气体时（刚装离子源或者刚换气体时），是抽空后，然后打开气瓶的调节阀让气体充入真空腔中10分钟左右还是其它方法？

angel315 · 发表于 2008-10-8 00:21:02

若是换完气体后, 先关闭气瓶阀门, 关门抽到一定真空度后打开流量计最大, 继续抽到高真空, 我们一般要抽到10-4帕, 若能达到, 说明排气完毕, 而且气瓶阀门还不漏气; 再打开气瓶阀门即可. 若是刚装离子源后, 一般不需要清洗管路, 若要清洗的话, 也可以抽气排空再冲气一下.

qjy · 发表于 2008-10-8 08:49:36

没有必要那么麻烦吧！好像有点脱了裤子放屁的感觉！呵呵