椭偏仪测量问题讨论

lidaoyong · 发表于 2008-10-24 15:55:29

利用椭偏仪测的两个参量，大家一般用什么软件拟合？
我在用FILMWIZARD分析时候遇到这样一个问题：计算膜厚时，输入不同的初始值，结果相差很大，不知为什么？如输入80nm，计算结果81nm，输入100nm，计算结果102nm。请教了。

uujinlog · 发表于 2008-10-29 16:39:04

http://ellipsometer.5d6d.com/bbs.php
这里有个椭偏仪论坛，你可以到这里去问问

uujinlog · 发表于 2008-10-29 18:13:43

armyzhou · 发表于 2011-1-3 20:00:48

不晓得这个软件的算法是什么，要是非线性拟合，这个就是难免的了。曾经用遗传算法写过一个程序，能在稍大一点的范围能寻优。
PS：一般要测量薄膜系数都是自己大概略知的前提下的，要是刻意去追求一无所知前提下的数据拟合，恐怕比较困难，不晓得算不算得上是个光学难题哦！