请问下下反射光量值计算的问题

Lxykoko · 发表于 2008-11-3 15:22:23

最近做一个5层的膜系，MGF2和H4，前3层都比较少，所以每层用一个比较片，请问如果只用一位比较片就镀完光量值该如何计算呢？谢谢！

qjy · 发表于 2008-11-3 15:32:54

呵呵！俺只知道有的膜系设计软件如老麦的可一计算，但是你这个看起来应该是个非规整膜系，要用一片监控片监控多层恐怕不容易实现！

tfc · 发表于 2008-11-3 16:33:46

M、T都可以计算，但你有这么好的光控吗？如果有，再谈怎么算。

jhxxmlhk · 发表于 2008-11-3 16:57:50

厚度太薄的话光量没有极值点,根本控制不准确的.人为判断停镀点是很难的.折射率变了后光量值就变了,人脑可计算不了那么快!

qjy · 发表于 2008-11-3 17:10:47

就是的，用光控监控很薄的膜层本来就很困难，还想一片监控片监控几层，谈何容易呀！

zzzz · 发表于 2008-11-4 08:45:02

对于薄的膜,每层用一片和一片多多层没多大区别

tfc · 发表于 2008-11-4 10:50:48

原帖由 jhxxmlhk 于 2008-11-3 16:57 发表
厚度太薄的话光量没有极值点,根本控制不准确的.人为判断停镀点是很难的.折射率变了后光量值就变了,人脑可计算不了那么快!

其实晶振也是一样的道理，当我们试镀成功后为什么可以镀产品？所以我们得重新编写光控程序，用现有的是不容易控制，试镀比较多，但还是有成功的案例。

Lxykoko · 发表于 2008-11-4 11:31:26

我们用的是下反射，经常光量走的幅度都不一样，有6位比较片的我们都是每层用一位的，关键是有台设备只有一位比较片，我看人家也用一位做过，但他们用的是上反射的，他们有个软件可以直接算上反射的

qjy · 发表于 2008-11-4 13:15:22

哈哈！你们是什么时候的设备呀？只有一位比较片？应该退役了吧！不行把光控改造一下呀！让您用这样的机器做多层膜，确实有些难为您了

Lxykoko · 发表于 2008-11-5 16:51:29

最近活又少，老南光机了，又舍不得花钱改造呀

280345601 · 发表于 2008-11-5 23:10:39

要是做出来！老兄你可以跳槽了

Lxykoko · 发表于 2008-11-11 16:12:30

现在这么多厂都没活干呢，我想到一个办法，准备过两天没活干了开始试，哈哈

我晕了