膜表面的麻点，什么原因？

ZHJ7239 · 发表于 2008-11-8 20:01:58

可能离子源打火所至,还有可能膜料喷溅引起

APS · 发表于 2008-11-14 14:42:57

镀膜前有清洗过吗?如果一般超声波清洗不行的话,可以考虑等离子表面清洗活化

zguibin · 发表于 2008-11-17 08:01:15

你的就是氧化钛预熔不够！氧化钛料脏溅料了！下次开镀前把材料预以下就OK了

lukaiyan · 发表于 2008-12-2 20:27:14

应该是针孔现象，把炉打扫干净，主要车间的空气湿度不要太干燥。

GR800322 · 发表于 2008-12-5 15:05:32

还要考虑夹具的因素！！！这里面很多因素，真要搞明白了，那你就牛X了！！！！！！！！！！搞镀膜的都知道主要是一下方面：蒸发源（材料，电子枪），真空室，基底，离子源，夹具等方面。但是真正原因和过程又有几人能说明白？？？？？

GR800322 · 发表于 2008-12-5 15:12:52

还要考虑夹具的因素！！！这里面很多因素，真要搞明白了，那你就牛X了！！！！！！！！！！搞镀膜的都知道主要是一下方面：蒸发源（材料，电子枪），真空室，基底，离子源，夹具等方面。但是真正原因和过程又有几人能说明白？？？？？

shjygx · 发表于 2008-12-5 16:46:51

摸一摸，摸得出就是材料喷溅

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