关于日本新科隆机台光控问题

枫叶1120

　　　现在我都是用晶控作业的用光控的话经常会出现各种报警如ＯＰＭ光源；逆振；ＮＤ值等问题有作业过这种机台的兄弟可否随便给个完整膜系设置参数我试验一下会不会出现这个情况．看下我那个地方设置错误了，在这先谢谢了．

john03062003

你不妨直接抓一个上来看看了。