讨论，镀增透膜后玻璃发雾是什么原因？

starofage · 发表于 2008-11-20 23:14:29

经常遇到镀增透膜后玻璃发雾，软材料的基底，是否是基底腐蚀的缘故？

fql3310 · 发表于 2008-11-21 12:07:48

片子放多久了？那就换换膜系吧，

yzhuang · 发表于 2008-11-21 13:50:00

软材料的基底如果镀ZrO2 SiO2增透膜,是很容易发雾的,不如直接来一个单层MgF2,增透效果低了一点,但什么问题都不会有

lukaiyan · 发表于 2008-12-2 19:57:15

使用什么药品，是不是氧气多了

lukaiyan · 发表于 2008-12-2 20:10:21

与氧气流量有关，氧气过多会引起这样地现象，APC、MFC控制可以交换一下，还有就是抽真空不好，机器扫除一下或把RP保养一下。我处理过这样的问题。

jumiel · 发表于 2008-12-22 15:39:23

首先检查是否玻璃清洗出了问题

shjygx · 发表于 2008-12-22 17:29:44

很多因素，建议用排除法

森林小树 · 发表于 2008-12-25 09:44:25

软材质基板易压克，洗净，镀膜都得把握好

随风2008 · 发表于 2008-12-30 01:48:43

基板若没有问题,与放氧量的关系就比较大.

killjackson · 发表于 2008-12-30 09:46:36

这是基底与第一层膜料的匹配有问题，表现就是随时间的推移发雾面积、程度会越来越重。

hong · 发表于 2009-2-7 22:45:16

与放置时间有关系，还有就是第一层膜料的选择，用mgf2,al2o3都不错

vacuum0714 · 发表于 2009-3-20 14:40:27

玻璃清洗過程有問題,造成在鍍膜時逸氣形成氧化物或其他類型的膜層.建議先檢查基材表面吧