我来挖个坑啊，大家怎么检测Fizeau或者其他干涉仪中的补偿镜

xxmiao · 发表于 2008-12-2 16:55:28

目前干涉仪的精度主要取决于参考镜的精度，平面镜的精度相对容易检测制造，特别是小口径的，但是球面的目前似乎没什么好办法，可以用平面来检测球面，问题是需要补偿镜，补偿镜的精度怎么保证，不知道大家都是怎么处理这个问题的。

ds1234567 · 发表于 2008-12-4 14:43:28

用计算全息片，不用补偿镜；用球面标准镜头，发出汇聚光直接测被测曲面。你的方式好在有批量优势，难度是补偿镜材料、加工和检测，我估计应当先用制造样板的方法制造某标准半径代替零件误差20分之1波长，然后放入补偿镜，放入标准平面，检测的误差都是补偿镜的误差，补偿镜检测精度也在此20分之1波长精度

QAZ784578022 · 发表于 2011-6-23 23:39:49

路过学习

dante_vania · 发表于 2011-6-28 13:04:47