H4膜层问题

Lxykoko · 发表于 2009-1-8 20:46:14

我不是搞清洗的,我怀疑洗剂,但是领导不允许怀疑,我晕死

silentzys · 发表于 2010-12-15 15:13:02

H4膜层的化学名称是什么。
你的这种问题可能在清洗剂有残留或在表面有吸附造成、肉眼看不出来、镀膜后会出现

xinliangrizhao · 发表于 2010-12-19 14:13:14

是薄膜密着度不好，薄膜结构疏松，在经过洗剂后，洗剂腐蚀到了膜层内部，造成黑斑，看样子你用的也不是什么先进的镀膜机了，应该没有离子源吧，这样的话，就只能提高基片在镀膜时的温度了，提到350°C。

new1980 · 发表于 2010-12-20 10:07:19

什么洗剂啊

冰雨8788 · 发表于 2010-12-24 22:41:38

楼上的分析有理，我认为也是这样，与膜层结构有关，不够致密。

xuyi198047 · 发表于 2011-4-7 20:50:54

你知道的，我看不懂得，呵呵。

mxbplayboy · 发表于 2011-4-7 22:04:11

学习中

ghtzna · 发表于 2011-4-13 12:01:38

这是AR很常见的问题，烘烤后就会有，看一下洗剂的参数。。。。。

山村野夫 · 发表于 2011-4-13 21:33:49

这个也就是常说的潮斑，跟清洗工艺有直接关系，另外MGF2也很容易吸潮，最外层镀SIO2潮斑会少一点

山村野夫 · 发表于 2011-4-13 21:33:57

这个也就是常说的潮斑，跟清洗工艺有直接关系，另外MGF2也很容易吸潮，最外层镀SIO2潮斑会少一点

ranguangpu · 发表于 2011-4-14 19:50:21

那是渍，是你工艺不行，

ranguangpu · 发表于 2011-4-14 19:51:35

你镀什么东西啊，增透？