关于光学表面的散射测量！

虚心请教 · 发表于 2003-9-8 08:11:00

主要用来检测抛光很好的光学表面的光洁度、瑕疵！目前用原子力显微镜，或共焦干涉方法判断精度很高。原子力（0。1埃），光学干涉（1埃）。
我想设计一个检测仪器，根据表面激光散射的程度，来判断表面的光洁度！不知可不可行？
请大家指教！！

wjh991231 · 发表于 2003-9-14 01:39:00

我的毕业论文就是写的关于这一方面的，是光纤位移传感器！测量精度达不到0.1埃，理论上计算能达到纳米级，如果光电探测器的灵敏度能达到0.0001话，它的分辨率能达到埃的数量级！从造价方面来看和原子力现微镜相比是很低廉的！可以定性的给出测量结果，缺点在于它只能呈线性扫描，工作的速度不是很快！

szjneoptic · 发表于 2003-12-3 05:39:00

很好的想法,我也遇到類似的問題,所有的尺寸,面精度,偏心都考慮了,但是實際的雷射效果就是有光暈,後來在40x的顯微鏡下發現表面光洁度、瑕疵問題,也一直想最好能有種儀器來檢測就好了,