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楼主: zhangking

求助SiO2镀膜

 火... [复制链接]
999520
发表于 2009-3-2 17:36:57 | 显示全部楼层
用柱状的SIO2应该会好点。不妨试试！不要用自动转的坩埚，用手动的！
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JZNT
发表于 2009-3-3 10:29:32 | 显示全部楼层
我们用的是环形的，但没你说的那种情况镀完后还是平的，速度快应该不会有白点
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 楼主| 发表于 2009-3-3 20:52:09 | 显示全部楼层
楼上的你们速率稳定吗？
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发表于 2009-3-10 17:39:14 | 显示全部楼层
请问是用一种材料吗？有没有TiO2啊。我觉得和转速没有关系，一般SiO2不会有飞溅的。
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发表于 2010-11-17 14:15:38 | 显示全部楼层
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发表于 2010-11-18 21:20:00 | 显示全部楼层
你只能是在光斑大小，膜料的种类，还有坩埚转数上下功夫咯。柱状硅料光洁度的确好很多
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z1206l
发表于 2010-11-19 09:18:52 | 显示全部楼层
楼上的是 绝对的高手啊。
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z1206l
发表于 2010-11-19 09:18:56 | 显示全部楼层
楼上的是 绝对的高手啊。
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发表于 2010-11-28 22:09:22 | 显示全部楼层
坩埚转速不是影响这个的决定因素,看看有没有预熔彻底
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