请问一个电子束刻蚀的问题

wutflash · 发表于 2009-3-2 11:29:44

请问在电子束刻蚀技术中，比如刻蚀Au纳米结构，会在下面渡一层铬（Cr）或者锡（Ti），渡的这层金属是起什么作用的，还有，这层铬（Cr）或者锡（Ti）是否对Au纳米结构的共振产生影响，能产生什么样的影响。。。。请高手赐教！！

洪峰 · 发表于 2009-3-3 10:02:39

应该是加强附着力的作用吧

noodlesy · 发表于 2009-3-3 10:06:51

1# wutflash

金子拿来刻蚀?干什么用呢?

eddytao · 发表于 2009-3-3 13:07:47

你是做什么的？光掩膜板的吗？你们E-BEAM Photoresist用的什么产品？